第271章 再一次成功跨上台阶（第1页）

第271章再一次成功，跨上台阶

周志强是好几天都没回总厂了，而且同样是好几天没回家里去了。

新光刻工艺的实验已经接近尾声，这两天就是不断实验的过程。

实验车间内，一台被改进的已经和接近式光刻机相似的设备、不对，应该说本来就具备接近式光刻工艺原理的光刻设备，正准备运行。

技术人员一边检测一边准备操作，如果这已经是周志强带人进行的第三次微调。

如果这次失败，他们依旧要寻找修改微调的地方，成功的话，那他们就实现了半自动化生产半导体硅片。

以后不单单是生产效率提升了一大截，就连用这台光刻设备生产出来的半导体硅片都可以让集成电路的性能大大提升。

透镜单元一致性复检通过，误差在万分之三内；光源预热完成，功率趋向稳定，具备了实验的可行性。

掩膜版已精确装载、对准；硅片涂胶也完成了，参数符合最开始的计算设定

技术人员在林工的带领下，将所有仪器设备全部检查了一遍，确保所有数值都达到开始实验加工的界限后，才转头向周志强和赵成辉两人点点头。

“开始吧，第三次加工试验。”

“是。”

技术操作人员也有些紧张的深呼一口气，随后便按下了启动按钮。

在设备开始运行后，轻微的嗡鸣声响起。

设备内部，经过无数次优化调整的匀光系统开始工作。

慢慢的将汞灯发出的紫外光均匀化、整形，透过那面精心制作、镀膜均匀度达到新高的掩膜版，精准地投射在下方涂覆了光刻胶的硅片上

技术操作人员也十分谨慎小心，生怕因为自己把这次实验搞砸了。

旁边围观的人更是一点声音都不敢发出，毕竟这台新的光刻设备，是他们这么多人，用了将近半年才改良出来的成果。

年前单单是参数计算和数据收集，就用了一个多月，年后没休息几天，项目组内的人又全员汇聚，闷在数控分厂内不断设计研发。

到现在已经进入四月底，没几天就到了五月份，他们要是再不成功，数控系统压根赶不上总厂那边的精度。

现在总厂项目组的进度可谓是飞快，有了两个高校的教授和技术专家支持，还有一堆懂得计算、打下手的大学生。

这让总厂的项目组飞快的解决了一个又一个的难题，现在已经在等数控分厂的数控系统，进行联调测试。

时间一分一秒的流逝，单单每一秒都让其它人感觉度日如年，更别说要等一分钟了。

不过仪器上显示的代表光功率稳定性的曲线波动机器微小，没有意外出现的征兆

“曝光完成。”

技术操作人员在完成这一步后，立刻开口汇报道：“厂长，赵副组长，我要准备开始显影了”

“好好，一定要稳住。”

赵成辉闻言后连忙叮嘱道，他语气都压着激动，要不是接下来还有步骤没完成，他声音都压不住。

接下来操作技术人员又按部就班的将后续的操作全部小心完成。

显影后的冲洗，随后小心放到高倍显微镜下，操作技术人员这才回头松了一口气的说道：“厂长，赵副组长，已经生产完了。要不，还是你们来看吧？”

“成辉同志，你去吧。”

周志强笑着说道，他心中有种预感，这次的实验已经成功了，所以让赵成辉去看。

刚才的操作的一点问题都没有，这台光刻设备也是他用收集推演助手，用符合这个时代的技术材料，推演了两遍才制造出来的。

工艺原理上没问题，设备也没问题，操作更是谨慎的没问题，那就不可能出现失败的情况，所以周志强才会将宣布这个好消息的机会让给赵成辉。

“那我就不客气了啊。”

赵成辉也没退让，深呼吸一口气后，很快便凑到目镜；在他的视野中，一片在硅片上蚀刻出的微细线路图案清晰地呈现出来！

一点瑕疵都没有，边缘陡直图案保真度极高，和掩膜版上的设计预想几乎完全一致。

赵成辉反复看了两遍，随后才高兴抬头说道：“志强同志，成了，咱们这次的加工实验很完美，均匀性非常好！”

“让我看看。”