第二百八十章 小型光刻机（第2页）

“啊！”

方佩玲眼睛顿时睁大，指着白云天道：“你刚才还说我们没有能力制造的，原来是骗我！”

“当然没有骗你！

要想制造英特尔那种等级的生产线，我们的确没有能力。它需要特种合金冶炼企业，来提供制造这套设备的生产线的各种特种合金；它还需要不低于数万吨级的大型液压设备，来对大型设备进行锻压成型处理；它更需要配套的伺服电机企业，来提供高精度的伺服电机系统；它同时需要成熟的数控设备设计、制造能力，来完成生产线制造。

这一切，还不是半导体制造设备的必要条件，而只是为了制造出，生产半导体设备的生产线制造的必要条件！

有了这套生产线，才能谈得上研发、设计、制造半导体制备设备！

你看，这些条件里，我们哪样有？”

“那你怎么说…”方佩玲被他绕过来绕过去地分析，彻底给搞迷糊了，眼睛里全是小圈圈，傻乎乎地望着白云天，

已经不知道说什么好了。

白云天给她萌萌的样子给逗笑了，一摊手：“我说的是做不出来和英特尔那么大的半导体设备，但是比它小，以公司的制造能力，我觉得可以试试。”

“原来是这么回事！”

方佩玲这才恍然大悟，拍了拍饱满的胸脯，让脑中一团乱麻的思维，重新恢复清明，谈了谈小脑袋，好奇道：“那你准备做的设备，会有多小？”

白云天给她问住了，脑袋后仰，回想了一下设计数据，估摸出大概的体积：“大概会有一人来高吧，不会比它更大了，体积吗，就跟一个衣柜差不多。”

“那就不能对八英寸晶元进行光刻处理了？”方佩玲来了这么久，各种技术术语背了一肚子，也能跟得上趟。

“只能作三英寸的。”白云天很是遗憾地摊摊手。

芯片内部晶片尺寸大约有拇指盖大小，考虑到晶元是圆形，边缘部分没有足够空间来放置晶片，所以每块晶元都不能得到百分之百完全利用。

这还要受到晶元制备技术的影响，现在的技术，制备出来的晶元，越靠近边缘，缺陷越严重。国际通行的晶圆制备

，可利用面积只有百分之七十左右。

由此可知，一块三英寸晶元哪怕光刻成功率百分之百，也就能切割出不到一百块晶片。

只有八英寸光刻机晶片数的九分之一！

可见差距之大。

这种小型的光刻机，多是放在实验室，进行小规模制备，验证研究人员的设计思路，绝对没有谁会疯狂到用它来进行工业化生产。

“这么小啊…”方佩玲仓促间，也算不出能切割出多少可用晶片，但直观就感觉小好多，有些沮丧，“那个制备的线宽是多少呢？”

“零点五微米！”白云天简短答道。

“什么？”

方佩玲像是被针刺了一下，猛然从座位上弹起来，一脸的不能置信，小心翼翼地望着白云天，握着拳头紧张道：“白总，你该不是又在开玩笑吧？”

她可是看过简报，英特尔最新的制程也就零点五微米，难道他们第一次制造的光刻设备，就能达到英特尔的水平？

这怎么可能！